AWM2000系列气体流量传感器: 　　　　
AWM2000系列为无源器件，包含两个惠斯顿电桥：一个为闭环的发热控制电路，一个为双传感电路. 　　　　
。双向气流传感　　
。实际气体质量流量传感　　
。流速0~30sccm 到0~1000sccm 　　
。能承受最大共膜压力25PSI 　　
。需另加发热器控制及传感桥路供电电路　　
。工作温度:-25~+85℃ 　　
。供电电压:10VDC 　　
。输出电压:最大50mV