等离子光氧一体机的工作原理： 当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场取得能量，经过激起或电离将能量转移到分子或原子中去，取得 能量的分子或原子被激起，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间彼此磕碰后生成稳定产物和热。
然后分有机废气再经过破坏、分化、催化氧化把污染气体分化为无毒无害无味气体。采用高能C波段光线强裂污染气体分子链， 改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。强催化氧化剂进行废气催化氧化, 可有效地杀灭细菌，将有毒有害物质破坏且改变成为低分子无害物质。在C波段激光刺激催化剂涂层发生活性，强化催化氧化作用。在分化过程中发生高能高臭氧UV紫外线光束分化空气中的氧分子发生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所 以需与氧分子结合，进而发生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有极强的铲除效果。O3也为强催化氧化 剂进行废气催化氧化, 裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再经过臭氧进行氧化反应，到达脱臭及杀灭菌的目的。

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