白光干涉仪中图仪器SuperViewW1可以在无外接气源的条件下可稳定工作，在车间也能正常工作。因为其双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，也可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动。

 

重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。

 

产品参数

产品型号：SuperView W1系列

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

可测样品反射率：0.05%-100%

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

主要特点：非接触式无损检测，一键分析，测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

 

深圳市中图仪器股份有限公司是国家高新技术企业，致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。历经了十多年的技术积累和发展实践，专业覆盖面广，专项技术能力强，具备了从纳米到百米为用户提供精密测量解决方案的能力。

 

【应用】

应用案例：手机曲面屏玻璃的检测

各种光学镜片和玻璃等超精密加工产物，其表面质量等级非常高。如果采用接触式的轮廓仪，会划伤器件表面，而一般的非接触式光学影像方法，也没有办法克服它的高透明度特性。中图仪器SuperViewW1为玻璃和光学镜片的表面质量提供了标准解决方案。

生活中智能手机、平板电脑、智能手表等日常的智能产品中常见的玻璃屏，需要对其表面粗糙度和轮廓进行检测。以手机玻璃屏为例：

 

玻璃屏表面粗糙度检测

 

以白光干涉测量技术为基础而研发生产出的白光干涉仪中图仪器SuperViewW1对产品进行高品质监控时不需要取下产品或停止生产，而且采用的是非接触式光学测量，在获得实时数据的同时，不会对产品造成任何损伤，从而有效节约了生产成本，提高了生产效率，并且在线检测，没有滞后性，从而减少不合格品，对表面缺陷检测亦如此。