产品参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

SuperViewW1白光干涉仪对产品进行高品质监控时不需要取下产品或停止生产，而且采用的是非接触式光学测量，在获得实时数据的同时，不会对产品造成任何损伤，从而有效节约了生产成本，提高了生产效率，并且在线检测，没有滞后性，从而减少不合格品，对表面缺陷检测亦如此。

产品特点

1、非接触式测量：避免物件受损。

2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-10mm。

3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。

4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。

5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。

6、扫描仪：采用闭环控制系统。

7、工作台：气动装置、抗震、抗压。

8、测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。

SuperViewW1白光干涉仪适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、弯曲变形情况、磨损情况、腐蚀情况、粗糙度、孔隙间隙、表面缺陷、波纹度、台阶高度、面形轮廓、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。能够做到在线监测、数据分析、超差报警、数据存储等，协助监测人员及时发现缺陷产生的原因。能有效监控相关设备的性能，实现表面质量判定自动化，减少了因表面缺陷而引起的损失。