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净化洁净室-安徽腾义|工期短(图)
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洁净室风机外壳的选择由于洁净室工程的厂房按照不同的使用要求,会有不同的级别要求,如10级、100级、10000级等,这就使得洁净室工程存在不易克服的问题,而风机过滤器单元(简称FFU)的出现相对解决了这些问题。在选择FFU风机外壳结构的时候,不但要考虑避免风机泄漏和消除运输与搬运期间带来的损坏,而且还要考虑能用消毒剂消毒,以及FFU使用的环境,因此zui好选用不锈钢或铝合金的材料作外壳。




洁净室属于人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,净化洁净室,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集成电路制造必不能少的因素。




早期的工业洁净室早期主流思想就是必须大量使用消毒剂使其不含微生物。为便于消毒,墙体使用帖面,地面则用水磨石铺面,并带有排水槽和下水口,以便排出消毒剂。通风也很原始,每小时换气仅几次。在室内或在生产区与外部区域之间,还谈不上气流控制。人员穿的棉服衣着与哪个时代手术室使用的相似。那时即便有更衣区,也是非常简陋的。




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2022-06-30 01:19:42  点击:0