高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，气体管道公司，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing amp; Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

实验室气体的供气方式

　　采用中压供气，二级减压的供气方式，气体管道，气瓶气体压力为12.5MPa，经一级减压后为1MPa（管路压力1MPa），气体管道温差，送至用气点，经二级减压后为0.3――0.5 MPa（根据仪器需求）送至仪器，供气压力比较稳定。

　　实验室气体管道的材质要求

　　（1）对所有气体无渗透性

　　（2）吸附效应很少

　　（3）对所输送的气体呈化学惰性

　　（4）能快速使输送的气体达到平衡

　　注：化学物质腐蚀影响等级 A―没有影响 B―轻微影响 C―中度影响 D―严重影响

　　316不锈钢是继304不锈钢之后，第二个得到广泛应用的钢种，气体管道施工，具有较好的耐腐蚀性，耐高温，强度优i秀等特点，所以我们一直用 316无缝不锈钢管。

气体管道工程的保养主要有哪些？

其实主要的是接口与阀门，接口与阀门经过气的侵蚀在一定时间后会出现小故障，会容易出现漏气的现象。每日要检查气压表，如果出现漏气的话气压表就会不稳定或不在原来的地方等。

气体管道属于机电机械类物体其主要是为了输送气体，气体又分普通气体、高纯气体、特种气体。生活当中接解的多的就是天i然气，煤气，气体运用不好的话就会给我们带来灾难。日常的保养非常重要，要做到及时检查气体管道的重要部位，通过重要部位来分析哪些地方管道出现问题。出现问题的地方要及时修复，避免损坏越来越大造成严重后果。

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