TORAY氧气分析仪LC-450A

酸素舛扔 LC-450A、LC-450D

LC-450A、LC-450D

氧气分析仪 LC-750H/PC-111

LC-750H/PC-111

该型号在 LC-750H 中具有内置的吸气泵。

TORAY氧分析仪LC-750L

TORAY氧气分析仪LC-750L

LC-750L 器仕

TORAY氧气分析仪SD/LD-450

酸素舛扔

TORAY氧气分析仪MS-500半导体/液晶/电子零件等氧气计

TORAY酸素舛扔MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

酸素舛扔

半体?液晶?子部品vB用途

Oxygen Analyzer for Semiconductors, Electronic Components

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

酸素舛扔 MS-500

MS-500

大8ポイントを同ry定が可能

ppmレベルから100%の幅冥舛缺硎兢出来ます。

半体造装置、真空装置等への搭dにm

センサは直肥(真空用NWフランジ16/25/40)

高耐久のセンサに特殊コ`ティングを施し、さらに耐久性を向上

MS-500 器仕

y定原理ジルコニア獾池式

形状分x型（Q器：壁焓健センサ：直肥剑

表示方式デジタル4桁表示(舛缺硎)

y定レンジ0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20～10-0atm

自鹰欹螗

R返性±0.5%FS以内 0-1%レンジ以上

±1%FS以内または±0.1ppmの大い方 0-1%レンジ未

0-1ppm,atmレンジは舛缺９焱

y数1～8

サンプルガス条件R力10-3～200KPa（~R）

流量0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然散状Bのy定)

湿度が周煳露纫韵

TORAY酸素舛扔LC-750H

LC-750H、LC-750L、LC-750H/PC-110、LC-750L/PC-120

氧舛扔LC-750H、LC-750L、LC-750H/PC-110、LC-750L/PC-120

中？ 高舛刃LC-750H:%更

低舛LC-750L:ppm到%的，精密

操作

Hx裨础⒐的操作

多Nx

淞Ш易取颖醚b置的x。 （LC-750H/PC-110型、LC-750L/PC-120型）

可根用途涓鞣NYz程式等S富多彩的x。

牲c舛染

上面？ 下限警竽芰

LC-750H

LC-750H

LC-750H/PC-110

LC-750H/PC-110

LC-750H器格

量y原理氧化獾池式

形钭郎闲/}n安b型

@示方式滴4比特@示或比@示

量y

底诛@示0-0.1/1/10/100%固定

比@示0-0.5/5/10/25%

允S`差±2%FS以0～2%以上

±3%FS以0～2%以下

庸艿阑於喝胧

取芋wl件

毫29.4KPa以下加

流量100～300mL/min

穸鹊挽董h境囟

囟-10～100℃

其他腐g性w（含氟w、氯w、硫化w等）、含矽w、可燃成分（也含w）、油分、水分

比^w大

x

出氧舛容出4-20mA或0-10V

4-20mA：d阻600Ω以下

0-10V：d阻100Ω以上

鬏出

警筝出ALM（舛染螅2c（H/L）航狱c、接c容AC110、DC24V3A（Rd）