代理日本CANON电离真空计M-833HG
M-833HGは、ミニチュアB-Aゲ`ジ用のコントロ`ルユニットです。オプションにて、多用なゲ`ジ、デ`タ出力等に辘工ボ`ドが用意されています。ミニチュアB-Aゲ`ジとTCゲ`ジ（オプション）のコンビネ`ション及び、ゲ`ジの自忧刑妞蛐肖Ε`トフィラメントの搭dにより、大R〜超高真空までの高精度な真空y定をgF出来ます。高真空〜超高真空装置搭dに最mです。
特L
N富な外部制御C能により完全なh隔操作が可能
セットポイントを2点首
最大4ヶのオプションボ`ド取付け可能でC能性が充g
（注：GP-IBオプションには未辏
RoHS、CEマ`キングに
用途
自踊真空装置のR力y
スパッタなどのプロセスR力のy定、制御
マルチチャンバシステムでのR力y定
一般真空装置のR力y定