简介：
美国AEP Technology公司主要从事半导体检测设备, MEMS检测设备, 光学检测设备的生产制造，是表面测量解决方案行业的领先供应者,专门致力于材料表面形貌测量与检测。公司始终致力于微观表面“三维”检测技术和设备的研发及推广，历经近十年努力，已为30多个国家提供NanoMap系列三维表面形貌测量系统。
NanoMap-PS是一款专门为nm级薄膜测量研发的无需防震台即可测量的接触式台阶仪。
特点：
1.     扫描性能稳定，无需防震台
2.     超低(0.01mg)接触力
3.     一体化彩色摄像机在扫描同时可直接观察样品
4.     无需安装一键操作
5.     简单一键操作与用户友好的操作界面
 
测量范围：
测量表面可以覆盖多种材料表面：金属材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，对于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻胶等“柔软表面”也可测量无须担心划伤或破坏。设备传感器精度高，稳定性好。热噪声是同类产品最低的。垂直分辨率可达0.1nm 。
 
应用领域：
1.     薄膜厚度
2.     二维表面轮廓
3.     二维粗糙度 ISO24578
4.     划痕磨损的宽度、深度和面积
5.     量纲分析
6.     微电子表面分析
7.     MEMS器件表面分析
8.     太阳能电池表面分析
9.     纳米材料研究
 
主要技术参数
垂直分辨率: 0.1nm
重复性: 0.5nm(1Sigema @1um)
垂直范围: 1000um
扫描范围: 5000um