压电物镜定位器      压电物镜定位器   产品介绍 
 压电物镜定位器      压电物镜定位器  哈尔滨芯明天科技有限公司    咨询致电：

P76一维Z向压电物镜驱动器 110μm

      压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，物镜补偿量较小，具有超高聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。

      P76系列为大负载压电物镜定位器，承载力最大可达500g，并带动大负载物镜做高速运动。闭环精度高，满行程线性度达20nm，可进行激光聚焦，已广泛应用于激光晶圆切割等半导体器件及微电子加工领域中。

 特性

      • 位移行程110μm                       • 负载500g                       • 响应速度快
可装配多种品牌、尺寸的物镜 
     多种螺纹牙尺寸可选，可配置不同品牌的物镜，也可选择螺纹牙转接器进行转接。
响应时间可调节
    配不同控制与承载响应时间可调。

应用

       • 高速聚焦         • 图像处理          • 共焦点显微镜       

     • 半导体检测          • 激光加           • 干涉形状测量