型号 SQC-100 流量量程(N2) 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM 0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM 精度 ±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM) 控制阀动作型式 常闭式 线性 ±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM) 重复精度 ±0.2%F.S. 响应时间 ≤1sec 输入输出信号 0~5V 电气接头 DB15 pin(针形) 工作环境温度 5~45℃ 工作压差 0.05~0.5MPa(MFC);0.03~3.0MPa(MFM) 漏率 1*10-8SCCS(He) 最大耐压 3MPa 介质接触材质 316不锈钢和密封材料 密封材料 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯,金属密封 接头尺寸 VCR 1/4";Swagelok 1/8";1/4";φ3,φ6mm 电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA