真空计算公式维持泵选择：

S维＝S前/10

9、扩散泵抽速估算： S＝3D2 (D＝直径cm）

10、罗茨泵的前级抽速：

S＝(0.1~0.2)S罗 (l/s)

11、漏率：

Q漏＝V(Ptwo-P1)/(t2-t1)

Q漏－系统漏率(mmHg・l/s)

V－系统容积(l)

P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg)

P2－真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)

t－压强从P1升到P2经过的时间(s)

12、粗抽泵的抽速选择：

S＝Q1/P预 (l/s)

S=2.3V・lg(Pa/P预)/t

S－机械泵有效抽速

Q1－真空系统漏气率(托・升/秒)

P预－需要达到的预真空度(托)

V－真空系统容积(升)

t－达到P预时所需要的时间

Pa－大气压值(托）

罗茨真空泵工作原理：

罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，水环式瓦斯抽放泵型号，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。　　为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然高。当转子继续转动时，气体排出泵外。

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