真空机组系统常用名称　　(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

　　(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

　　(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

　　(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

水环式真空泵装置特点 (1)工作可靠。当真空度在0-60%的范围内波动时，其管内稀薄空气流量变化较小，因此可保证吸料工作的正常进行。当发生过载和堵塞时，可自动调节压力，以提高真空度来冲破堵塞处，确保连续输送。 (2)由于空气流量小(仅为同功率风机风量的1/15左右)，真空度高，因此可提高输送浓度，增长输送距离，缩小输料管直径，这对输送线路的布置、废气处理和工人操作都是有利的。 (3)由于空气流量小，真空度高，因此对整个系统的密闭性要求高，给连续排料造成了一定的困难。 (4)由于水环式真空泵是靠水环封闭工作的，工作时要带动水一起运动，产生摩擦，引起能量损失，因而效率低，η≤40amp;nbsp;%(约比机械真空泵低30%)。 (5)废水处理措施:避免造成废水二次污染。严寒地区要考虑冬季保温、防冻措施

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