真空镀膜加工的物理过程和工艺流程

真空镀膜的物理过程

PVD（物理气相沉积技术）的基本原理可分为三个工艺步骤：

（1）镀料的气化：即镀料的蒸发、升华或被溅射从而形成气化源

（2）镀料粒子（（原子、分子或离子）的迁移：由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞，产生多种反应。

（3）镀料粒子在基片表面的沉积

薄膜的形成顺序为：具有一定能量的原子被吸附→形成小原子团→临界核→小岛→大岛→岛结合→沟道薄膜→连续薄膜。因此薄膜的形成过程可分为四个阶段；临界核的形成；岛的形成、长大与结合；沟道薄膜的形成和连续膜的形成。

真空镀膜的工艺流程

真空镀膜的工艺流程一般依次为：前处理及化学清洗（表面打磨抛光喷砂，除锈除油去氧化层）→工件在真空中烘烤加热→亚离子辉光清洗→金属离子轰击→镀金属过渡层→镀膜（通入反应气体）→后处理（炉内钝化或出炉后钝化去应力或防止变色，过UV做防指膜处理等）。

不锈钢真空电镀的盐雾测试

所谓的不锈钢真空电镀的盐雾试验，指的是模拟材料在天然环境下被腐蚀的速度快慢。如在天然情况下腐蚀需要一年，通过人工模拟盐雾环境，提高腐蚀的速度，只需72小时即可得到相似的结果。

盐雾试验与不锈钢真空电镀的实际联系主要表现在于用来考核产品的耐腐蚀性能。有两大类，一类为天然环境暴露试验，另一类则是人工加速模拟盐雾环境试验。我们使用的就是人工模拟方法，长沙真空镀加工厂家，通过盐雾试验箱创造盐雾环境，其盐雾含量为天然环境的几倍到几十倍，从而加速验证不锈钢产品的质量。

盐雾试验结果的判定，真空镀加工厂家，就是对不锈钢真空电镀的质量检测，是正确衡量不锈钢产品或者其他金属的康盐雾腐蚀质量的关键。深圳市联生佳科技有限公司对每一批电镀加工的产品都进行表面膜层盐雾试验，以确定产品电镀的质量合格。

一、真空镀膜器材污染物的来源及清洁处理

真空镀膜器材由许多不同的零件组成，株洲真空镀加工厂家，它们都是经过各种机械加工完成得，例如车、铣、刨、磨、镗、焊接等。这样，零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发，影响真空镀膜设备的极限压力和性能稳定性。此外，污染物的大气压下吸附了大量的气体，在真空环境中，这些气体也要被释放出来，构成了限制真空镀膜设备极限压力的因素。为此，零件组装前必须清除掉污染物。

二、真空镀膜器材真空系统地清洗处理

1、油扩散泵真空系统地污染与防治

油扩散泵真空系统是使用广泛的真空系统，其获得真空度范围为1.3*10-3~1.3*10-5Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空镀膜设备，常见的故障是真空度抽不上去或真空度抽不到原来的极限压力水平。真空度抽不上去的原因需要仔细分析，可能是活动密封处松动、焊缝漏气、真空泵或真空阀门等元件损坏等原因所导致。此外，真空室内壁的油蒸汽污染，真空工艺过程各种污染物的污染也可能是主要原因。防止的方法是：定期清洗真空室。定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵进行清理。

2、超高真空系统地烘烤与清洗

由溅射离子泵和钛升华泵组成的真空系统是目前获得清洁超高真空的主要抽气手段，能获得低于1.3*10-3Pa的压力。中小型真空镀膜设备真空系统以溅射离子泵作为主泵，大型真空系统以钛升华泵做主泵。超高真空系统要求真空室内壁相当干净，零件表面粗糙度要求高，井冈山真空镀加工厂家，材料放气量要小。真空室零件要进行严格地清洁处理，不要用手接触零件表面。真空室的漏率也要严加控制。除此外，还要对真空室进行烘烤。

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