洁净检测项目有哪些

气流流型

a)垂直气流试验

烟雾位于前窗内侧150mm，高度为300mm处从一侧壁板移动到另一侧壁板操作区内，洁净工作台的垂直下降气流在均流板下部均呈现下降模式，无向上气流。

烟雾位于前窗内侧操作区1/2深度，高度为300mm处从一侧壁板移动到另一侧壁板操作区内，洁净工作台的垂直下降气流在均流板下部均呈现下降模式，无向上气流。

烟雾距操作区后侧壁板150mm，高度为300mm处从一侧壁板移动到另一侧壁板操作区内，洁净工作台的垂直下降气流在均流板下部均呈现下降模式，无向上气流。

b)水平气流试验

烟雾位于前窗内侧操作区1/2深度，高度为300mm处从一侧壁板移动到另一侧壁板操作区内，洁净工作台的水平气流在散流孔前侧均呈现向外模式，无向内气流。

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检测方法介绍

洁净室各项目检测方法总结

过滤器检漏

一、说明

过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，复杂、耗时间的测量项目。泄漏测试的目的，是要确认：

1. 滤网的材料无破损，

2. 安装恰当。

滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是

FFU 系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此，边框扫描一样重要。

滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒，然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式，适用在不同的场合。

测试方式有：

1. 气胶光度计测试法， 2. 微粒计数器测试法， 3. 外气测试法。后两种现在使用非常少。

洁净检测项目有哪些？

洁净工作台检测

1、风速a)在主过滤器或扩散板下游10cm处的平面的面积分成不得少于十二等分的面积，各面积中心点即为风速测点。但各测点间距不应大于25cm；b)将各测点风速值计算出截面风速算术平均值及风速均匀率。

2、沉降菌将装有营养琼脂的j90mm培养皿置于工作台操作界面上，测量点按悬浮粒子布置，暴露0.5h后，盖上皿盖，取出培养皿在30℃～35℃的环境中培养48h。用肉眼计数可见的细菌集落，取其算术平均数。

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