氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12Pa・m3/s。2. 漏率显围：1×10-3―1×10-12Pa・m3/s检漏仪对示漏气体的要求：在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。氦质谱检漏仪的特点：检测时间和周期非常短，电厂检漏设备，可以达到5s以内；检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；

检漏仪启动时间：≤5min。响应时间：≤1s检漏口的。高压力：1500Pa。电源要求：220v，50Hz，单相，10A。工作环境：5-35℃检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，电力开关检漏，在漏点处喷射氦气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。检漏仪自动化程度高：自动校准氦峰，真空箱氦检漏，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，杭州检漏，可外接打印机。氦质谱检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

氦质谱检漏仪应用制冷行业：冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择：无害，不能对人体或环境造成伤害;质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝;化学性质稳定，不会引起化学反应;主要配置：检漏仪专用分子泵。机械泵或者干泵。定制检漏仪专用电磁阀。内置标准漏口。 放大器。质谱专用模块。

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