洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
无尘衣、鞋、帽子等须由专人管理,并定期做清洗,清洗须在洁净室内进行,并以纯水配合清洁溶剂,并经约0.2μm过滤器为之,一般洗涤周期视清洁度等级而定,在高洁净区为2~3天,其他区域则为5天~1星期,洗涤完毕干燥后应立即密封。洗涤衣置放场所须为洁净室,备用品或新品存放柜内,正使用者则吊挂衣架上,以为方便取用。
洁净车间的棚顶和墙板(涵盖夹芯资料)必须是不焚烧体,且不行以运用有机复合资料。棚顶的耐火极限不行少于0.4小时,分散走道棚顶的耐火极限不行少于1小时。在一个防火区内的综合性工业厂房,其洁净出产区域与一般出产区域两者之间应规划为非焚烧体隔墙密封到顶。隔墙以及相关联的顶板其耐火极限不行少于1小时,墙面上的门窗耐火极限不行少于0.6小时。穿过隔墙或顶板的电缆电线其周围缝隙应运用非焚烧资料堵塞填充。
以上信息由专业从事层流手术室设计施工报价的云洁净化于2024/4/29 12:54:02发布
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