真空镀膜加工的科学蒸镀
在气态质迁移时,为了保证膜层的质量,一般都是在真空镀膜加工或惰性气氛中进行,并施加电场、磁场或高频等外界条件来进行活化,以增加到达基底上的气态物质的能量,提供气态物质发生反应的能量,即提供气态物质反应的能。
薄膜在基底上的形成过程是一个复杂的过程,它包括:膜的形核、长大,膜与基底表面的相互作用等等。近年来,薄膜制作时还在基底上施加电场、磁场、离子束轰击等辅助手段,其目的都是为了控制凝聚成膜的质量和性能。根据成膜方法的基本。
真空镀膜加工的科学蒸镀
在真空蒸镀时,气态粒子是由放于蒸发源中的蒸发材料产生的,而蒸发源的加热可以采用电阻法、高频感应法、电子束轰击、激光蒸发或放电法等。图1-1是真空蒸镀设备和一些蒸发源的简图。该真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩,并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统,通过真空阀门对工作室抽真空。
真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术先用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等;后延伸到其他功能薄膜,唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等,如手表外壳镀仿金色,机械刀具镀膜,改变加工红硬性。
任何固体材料在大气环境下都会溶解和吸附一些气体,当材料置于真空状态时就会因为脱附、解析而出气。出气的速率与材料中的气体含量成正比。不同的材料解析的气体成分及解析的温度及时间是不同的。
电阻蒸发源蒸镀法:
电阻加热蒸发法就是采用钨、钼等高熔点金属,做成适当形状的蒸发源,其上装入待蒸发材料,让电流通过,对蒸发材料进行直接加热蒸发,或者把待蒸发材料放入坩锅中进行间接加热蒸发。
优点:
利用电阻加热器加热蒸发的镀膜设备构造简单、造价便宜、使用可靠,可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜,尤其适用于对膜层质量要求不太高的大批量的生产中。
以上信息由专业从事真空微米镀膜工艺的拉奇纳米镀膜于2024/5/10 8:48:24发布
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