毛刷辊在板带热镀锌,酸洗,彩涂等生产线中起到举足重轻的作用。钢铁业中的毛刷辊制作工艺主要有螺旋缠绕式,内焊拼装式,螺旋咬合型刷片组装式。钨-钛(W-Ti)膜以及以钨-钛(W-Ti)为基的合金膜是高温合金膜,具有一系列不可替代的优良性能。刷丝一般采用直径为0.5尼龙曲丝或磨料尼龙曲丝。就使用寿命周期而言咬合型刷辊占主导地位,它是由单片刷套、键、毛刷辊辊轴、端板组成为整体毛刷辊组装的形式。尼龙刷毛制成单片刷套,将单片刷套组合,并压合在刷辊辊轴上,由键和两端的端板固定后,对尼龙刷毛外圆周进行整体车削。具有结构简单、设计合理、使用寿命长的特点可增加在刷辊辊轴有效长度上单片刷套安装数量 10%左右。
在所有应用产业中,半导体产业对靶材溅射薄膜的品质要求是苛刻的。如今12英寸(300衄口)的硅晶片已制造出来.而互连线的宽度却在减小。此外,采用连续硫化法时,如果硫化时的热传递没有设法尽量达到均匀,则挤压后的硫化速度不一致,这样可能电阻值的不均匀程度反而大于间歇式硫化法。硅片制造商对靶材的要求是大尺寸、高纯度、低偏析和细晶粒,这就要求所制造的靶材具有更好的微观结构。靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉积率的关键因素。另外,薄膜的纯度与靶材的纯度关系极大,过99.995%(4N5)纯度的铜靶,或许能够满足半导体厂商0.35pm工艺的需求,但是却无法满足如今0.25um的工艺要求。
溅射靶材ITO靶材的生产工艺 ITO靶材的生产工艺可以分为3种:热等静压法(HIP)、溅射靶材热压法(HP)和气氛烧结法。各种生产工艺及其特点简介如下:
热等静压法:ITO靶材的热等静压制作过程是将粉末或预先成形的胚体,在800℃~1400℃及1000kgf/cm 2~2000kgf/cm 2的压力下等方加压烧结。制备化合物半导体的金属如铟、磷,可利用氯化物精馏氢还原、电解精炼、区熔及拉晶提纯等方法制备超纯金属,总金属杂质含量为0。热等静压工艺制造产品密度高、物理机械性能好,但设备投入高,生产成本高,产品的缺氧率高。
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