爱德华真空泵维修之前首先应摸清它的底细，即该泵制造工艺情况、使用情况、原始参数数据、日前：A况、故障前的使用环境、负材状况、故隙现象婶，然后根据操作使用者的反映，以及亲自观察和试仙测所掌搬的资料，述立起该设备的档案卡片，记载下所了解的情况和维修简历，综合判断该泵故障原团和部位，对症下药，这些故障是可以排除的
主要特性和优势
真空外壳中 不需要使用润滑剂，完全密封可保证的清洁和干燥真空， 防止交叉污染
无大气压到 真空的轴封可使轴承完全隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能 以更低温度运行，使用时间更长
简单的单侧 滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需低程度的 特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本， 尽可能延长正常运行时间
改进了电机和 传动效率，可降低功耗和运行成本
真空泵使用前须符合哪些要求?如下所示：
一、驱动机的转向应与泵的转向相符。
二、各连接螺栓不得有松动现象。
三、在调节机座内、安全补油阀组、泵缸腔内或液压隔膜腔内加注润滑油，均应符合设备技术文件的规定。液压隔膜式计量泵的液压腔内不得存有气体。
快速：
缩短了抽气时间，可实现 5 X 10-4 mbar 的极限真空
稳定：
即使在严苛工业应用中也能可靠运转
智能：
板载控制器，具备广泛的通信和自动控制功能
经济：
可承受的资本投资，低拥有成本
环保：
运转平稳安静，低功率，低水电消耗
真空泵无法启动时要如何维修的问题。真空泵无法启动的问题主要反映为真空泵加电后不能启动运转。当出现这种情况之后首先检查真空泵的电路部分，查看下电路部分有没有元气件烧坏、保险管是否烧毁等。若电路故障排除就应考虑以下两个因素：旋片被卡阻。若出现这种问题主要表现为旋片变形，转子内的弹簧张开后不能复位，或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大，导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大。这时就应及时修复旋片和弹簧，若不能修复则应更换。
应用
真空感应熔炼 (VIM)
精密熔模铸造 (PIC)
真空电弧精炼 (VAR)
真空镀膜
电子束焊接
真空烧结
钢脱气
硬化
等离子和 LP 氮化
LP 渗碳
真空铜焊
粘辊
玻璃涂层
滤光片和镜头
真空喷镀
硬盘和光盘母版制作
变压器、电容器和电缆
皮革
辛香料和芳香剂
核工业
真空腔修整
太阳能电池生产
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
以上信息由专业从事WHV4000真空泵维修厂的东欧真空于2024/5/14 7:52:43发布
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