花都区爱德华磁悬浮涡轮泵故障承诺守信「潽拓光电」

花都区爱德华磁悬浮涡轮泵故障承诺守信「潽拓光电」[潽拓光电dd875e2]内容：

广州潽拓——{精}，分子泵

     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

潽拓——爱德华磁悬浮涡轮泵故障，分子泵

  爱德华IPX100真空泵维修 BOC EDWARDS IPX100

      分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

这种泵具体可分为：

1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

STP-iXR系列STP-iXR1606、STP-iXR1606C、STP-iXR2206、STP-iXR3006、STP-iXA3305C、STP-iXA3305CP、STP-iXA3305CV、STP-iXA3306C、STP-iXR3306

潽拓——爱德华磁悬浮涡轮泵故障，分子泵

Edwards全磁悬浮涡轮分子泵STP-iS2207 爱德华分子泵

技术参数：

入口法兰尺寸                                VG200/ISO200F/ICF253/ISO250F/VG250/ICF305

前级抽气口尺寸                             KF40

抽速                                              N2/Ar2200/1900 ls-1

压缩比                                           N2/H2>107

极限压力                                        10-6 Pa (10-8 Torr)

允许的前级压力                              200 Pa

大气流 N2 *（仅水冷）                3200 sccm

                                                    (5.41 Pam3s-1)

大气流 Ar *（仅水冷）                1000 sccm

                                                    (1.69 Pam3s-1)

额定速度                                        36500 rpm

运转到 90% 额定速度的时间            <8 分钟

固定位置                                       任何方向

输入电压                                        200-240 V

大输入功率（不带 TMS）              750 VA

重量                                               45 kg

以上信息由专业从事爱德华磁悬浮涡轮泵故障的潽拓光电于2024/5/11 10:25:13发布

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