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由于涡轮分子泵是高速旋转的机械,因此轴承是涡轮分子泵的关键部件。涡轮分子泵的轴承有如下几种:
1、油润滑轴承
2、油脂润滑轴承
3、气膜轴承
4、磁悬浮轴承
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气体输送泵包括:1、液环真空泵(水环式真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等
以上信息由专业从事日本shimadzu分子泵维修的潽拓光电于2024/5/16 11:49:49发布
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