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热传导真空计为什么易老化?
答:因热丝长期工作在高温下,受气体作用易氧化变细,或导致热丝本身结晶构造变化,因此会改变热丝的电阻,造成零点的漂移,这是属于热丝本体的。热丝表面因会吸附气体而改变了表面的适应系数,即热交换的机制,造成灵敏度的变化。以上均属于老化现象。
电离真空计的工作原理?答:利用电子对气体的碰撞产生电离作用,而电离的效果是与气体压力有关的。当电子电流一定时,电离形成的离子流正比于压力,故通过离子流间接测量气体的压力。
什么是电离真空计的外控接法?有何好处?答:如规管的栅极作为电子加速极,而板极作为离子收集极,此种接法即为外控接法。其好处是电子在加速中不易被栅丝截获,并受灯丝和板极的电位排斥,可以在灯丝与板极的空间,反复穿过栅极来回振荡,如此,可显著提高测量的灵敏度。
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真空计,又叫真空规。半导体设备中,不可避免的用到真空计,主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。
是什麽?能做什么?怎么用?
1,是什麽?真空计,字面意思,计量真空度的仪器。
2,能做什么?真空计主要用来测量真空,或者叫测量压强大小。腔室里面气体多,压力大,压强大,真空计显示的数值就大;反之,真空计显示的数值小。
3,怎么用?一般就是把真空计的物理接口,KF接口或者是螺纹接口接到腔室上,然后把真空计的电气接口接到电脑或者的显示仪表上。这样就可以测量腔室的真空度,也能看到真空度具体的数值了。
4,注意,真空计是有分类的,有的适合测量低真空,也就是压强大一些的;有的适合测量高真空,也就是压强小一些的。一般常用的是热电偶真空计,皮拉尼真空计,冷阴极真空计,电离真空计。
自己接触过的真空计有电离式,皮拉尼式和冷阴极式真空计。
具体各自的工作原理,大家可以搜一搜,如果需要,我下次补上,一块学习。
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.inficon真空计的特性?答:inficon真空计是一种肯定真空计,可以得出被测压力的平方根。但inficon计只有测量被测汽体中汽体的分气体压强,不可以测量在其中可凝气体的气体压强。2.导热真空计的基本原理?根据哪些量的测量来体现导热的转变?
答:导热真空计是根据低电压汽体的导热与工作压力相关这一状况来开展测量的。它可以根据热丝电阻器的变动来体现溫度的转变,进而体现导热的转变,用此类测量方式的真空计称之为传热系数真空计,又称之为皮拉尼真空计。还可以同时用热电阻测量热丝的气温改变来体现导热的转变,称之为热偶真空计。
危害导热真空计测量低值的原因是什么?答:热丝的发热量除开汽体热传导外,还能够顺着热丝自身向两边热传导,即固态热传导;还能够以扩散的方法热传导,这二种换热方法与工作压力不相干,当工作压力较低,汽体的传发热量显著小于固态的换热和幅射热传导时,就不可以体现工作压力的变动了,即做到了测量的低值。
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以上信息由专业从事英福康真空泵维修维护的潽拓光电于2024/4/28 8:34:29发布
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