一氧化氮是一种淡黄色或棕色气体，无味、有毒性。它的化学式为NO，分子量为30.015g/mol等。它由两个原子和一个氧离子结合而成，即一个二氧化氮分子是由三个粒子构成的：一个亚根阴离子（NO₂¯）和一个小量的阳离子(H+)。在高温下，这些粒子可以通过反应生成一种不稳定的化合物——二氧化氮和水蒸气。这个过程被称为“脱氢”。在这个过程中产生的热量可以被用来加热系统并产生更多的这种物质。
特种气体是指在特定领域中应用的、对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。它们广泛应用于集成电路、显示面板、光伏能源、环保、等领域。随着国内电子产业的迅速发展及相关政策推动，特种气体的需求逐年提高，尤其在电子特气领域，其市场份额正在不断增长。特种气体作为重要的基础化工材料，对于推动相关产业的发展具有重要意义。
氩保气是一种惰性气体，它的化学性质稳定。在工业生产中，它通常被用作保护气体来防止其他物质与需要加工的物品发生反应或腐蚀。比如焊接金属时常用氦、二氧化碳等混合成一种混空气供应给电弧焊作业者呼吸之用,称为“氧气”。它可以有效地隔绝空气中氧气的接触和作用，从而避免氧化反应的发生。此外，它在电子行业中也有广泛应用场景，如芯片制造工艺中的退火过程需要在高真空环境下进行，而在这个过程中会使用到一定量的He/Ar作为稀释剂以降低SiH4燃烧产生的氢气浓度，否则性的氢气会在局部形成微小事故引发点进而造成大面积飞溅火灾危险。
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