随着电子技术、图像传感技术和计算机技术的快速发展,利用基于光学图像传感的表面缺陷自动光学(视觉)检测技术取代人工目视检测表面缺陷,已逐渐成为表面缺陷检测的重要手段,因为这种方法具有自动化、非接触、速度快、精度高、稳定性高等优点。
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自动光学检测用于检查导体电路图形(蚀刻后)的质量:
将抗蚀膜层退除后,检查导体铜电路图形zui广泛的是使用AOI.在这方面的应用是非常普遍的,要获得图像的清晰度的提高,完全决定于过滤器的适当选择,使铜导体表面呈现出不同的变换。zui多的情况,AOI系统检查蚀刻后的导线宽度,这就很容易涉及到多层板内层的导体表面形态和导线边壁的形态的类似的显现,这种形态决定于蚀刻的工艺或微蚀刻的工艺特性。特别是经过电镀的导体线路的经过蚀刻后形态。
AOI检测设备的大致流程是相同的,多是通过图形识别法。即将AOI系统中存储的标准数字化图像与实际检测到的图像进行比较,从而获得检测结果。例如,检测某个焊点时,按照一个完好的焊点建立起标准数字化图像,与实测图像进行比较,检测结果是通过还是不通过,取决于标准图像、分辨力和所用检测程序。图形识别中会用到各种算法,如求黑占白的比例、彩色、合成、求平均、求和、求差、求平面、求边角等。
以上信息由专业从事自动光学检测软件厂商的亿昇光电于2024/5/7 6:22:06发布
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