真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
真空泵选型
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
真空泵漏气怎么办
在日常的企业使用中，我们在使用水环式真空泵的时候有可能会出现漏气的现象，拧紧水环真空泵的所有联接螺栓，拧紧填料压盖，紧紧地包缠管道及仪表与其它部件连接的地方。或者更换垫片、填料。对于空气泄漏之处，还可以涂上油石灰等作为临时的补救措施。轴承歪斜使叶轮倾斜地装在泵体中。对于单作用泵而言，其轴向间隙不均匀，叶轮旋转时，必然会有一部分与侧盖摩擦，擦伤侧盖和叶轮端面，使轴向间隙增大。压缩腔气体在通过增大了的间隙时，大量地泄漏到吸入腔里去，使真空度或排气压力降低。这时必须将水环真空泵的轴承拆下来进行修理，然后再进行正确地安装。
真空泵配件
真空泵配件主要包括以下几种：
1.油雾过滤器（又名油雾分离器、排气过滤器、排气滤芯）：在推动力的作用下，油气混合物通过真空泵油雾分离器的滤纸及棉质，油被截留，从而实现气体与真空油的分离操作过程。被过滤掉的真空泵油随着回油管进行循环利用，排出的则是无油的废气，以达到无污染、洁净的效果。
2.空气过滤器（又名空气滤芯）：由于真空泵的滑动空隙很小，外来的介质如果含有颗粒、污垢，可能会破坏滑动面，豁附或阻塞泵的滑动面，导致泵无法正常工作。为了防止这种情况，需要使用空气过滤器来阻挡这些外来物进入泵中。
3.油过滤器（又名油格）：这是真空泵油过滤装置，设置在泵浦回油管路上，主要用途是在回油箱中捕获体系内发生或者是侵入的污染物。
除了上述三种常见的配件外，真空泵可能还需要其他配件，例如密封件、轴承、联轴器、叶片、泵体等，具体取决于泵的类型和使用环境。为了确保真空泵的正常运行和延长使用寿命，建议定期检查和更换这些配件。同时，选择正规品牌和渠道购买配件也是非常重要的。
以上信息由专业从事旋片真空泵生产厂家的凯德金科技于2024/4/29 6:36:20发布
转载请注明来源：http://m.herostart.com/qynews/bjkdjgs-2743642207.html
