厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修工程师团队组成，公司提供国外及国内厂家生产的真空泵，检漏仪，分子泵，扩散泵，水环真空泵，螺杆真空泵，罗茨泵，真空测量，真空泵油及其备品备件。
散泵是目前获得高真空的、主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。
影响油扩散泵性能的因素如下。
1、油扩散泵的返流。
2、气体分子的反扩散。
3、扩散泵油的裂化分解，一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001Pa左右)，受热稳定性好，不易被氧化，分子量大的高沸点的液体，如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。
4、泵清洗不干净，污染物质留在泵内并重复循环，影响其真空度。
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（1）目前国内生扩散泵的厂家较多，型号、尺寸不统一，大泵越作越大，小泵则很少生产。况且对泵的性能也没有考核指标。行业应对提和质量进行定期检查、组织生产厂家多做改进工作，使用户配套方便。（2）泵在结构方面：要缩小尺寸、降低重量，保证零件的加工精度，可增加级数，提高在4×10-1Pa时的抽气量。给出对几种常用的被抽气体的抽气量。（3）增加附件。如设置挡油帽，过热保护装置（对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护。可自动切断和复位）。出口压力的监控。（4）规定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要观察油位，以方便用户及时注油。从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。（5）给出合适的前级泵的容量。（6）为了节能加热功率要可调，要快速起动和快速冷却停泵，提高设备的运转率。（7）给出各种被抽气体的性能曲线，好给出对一些气体的压缩比（方便用户选用。（8）用微机控制运行和故障诊断。（9）密封处要选高质量的放气率和透气率小的橡胶圈。（10）给出各种泵的返油率限定值，进一步降低返油率，扩大油扩散泵的用途。油扩散泵的工作压力范围宽（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少数部件需要维修，泵内无运动部件，工作中可更换加热器。硅油或聚苯醚的蒸汽压为10-9~10-10Torr，使用合适的挡板或阱在室温状态下可获得10-10Torr或更低的压力。
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利用水冷挡油帽，使泵的抽速稍有损失外，可使返油率降低。对于许多应用场合是允许的。若在系统附加些管道、阀门和弯管，可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光学密闭的障板，可限制主要返流，但使泵的抽速约下降50%。次要的返流（即冷凝在表面上的泵油迁移和再蒸发是表面温度和泵油蒸汽压的函数，到达真空室的这种返流量取决于设置在泵与真空室之间的冷阱的几何形状和温度，常用液氮（ 77K）冷阱来捕集油分子。因此真空室的压力明显地低于泵油的蒸汽压。障板或冷阱不仅必须光学密闭，而且还必须使进入障板或冷阱的油分子与冷面少碰撞一次。对于使用吸附剂（如沸石）的障板，为避免油分子直线飞行，要设置交错的吸附剂托盘。沸石是一种含有直径比气体分子直径稍大的微孔物质。1盎司（ 28.35g）沸石内部约有5英亩吸附面积，在小型超高真空系统中，使用分子吸附剂障板是有效的。因为在低压下，在几个星期内它能连续地吸附碳氢化合物和其它气体，并不需要液氮。
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现代的油扩散泵在泵入口处，泵油的返流已降至大约室温下泵油蒸发速率的水平。
只有在使用时遵守一定的操作规程，才能保证系统的正常工作。前已详细叙述过有关机械泵、扩散泵的操作规程。经人们生产实践，对排气系统，也同样总结出来一套操作规程。以高真空排气系统为例（其他真空设备可仿照施行），其操作规程如下：①检查真空系统各部分，熟悉系统的气路结构，了解真空系统各元件的作用以及操作部分的电路联接。②关闭放气阀门，启动机械泵，对系统进行抽气，并随时用火花检漏器对系统各部分进行检漏。如系全金属系统，则可关闭阀门，用真空计读数记下P-t曲线（作静态升压试验）。如压强随时间呈直线上升，可断定系统有漏气源，应进行检漏。③当系统真空度达到油扩散泵的前置压强（5×10-2托）后，启动扩散泵，使加热电流逐渐升到额定（佳）值。在启动扩散泵前，必须先开冷却水。④扩散泵正常工作后，用火花检漏器（或热偶计）判断量测系统的真空度。到10-3托以上（热偶计近满偏或95格以上）才能使用电离真空计。使用时先对规管除气，后测量真空度。
以上信息由专业从事iGX1000N半导体真空泵维修的厦门太星机电于2024/5/1 6:52:28发布
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